提高真空泵的可靠性

　(1)提高真空泵的可靠性，降低振動(dòng)、噪聲，注重真空泵的綜合水平。過去的若干年，生產(chǎn)廠注重真空泵的主要性能指標(biāo)，比如，極限壓力、抽速等，而忽視真 空泵的綜合性能。而現(xiàn)在，產(chǎn)品的可靠性、性能的穩(wěn)定性以及對(duì)環(huán)境不造成污染逐漸成為用戶購買產(chǎn)品時(shí)考慮的主要因素。對(duì)于旋片泵、羅茨泵、滑閥泵等而言要將 成熟的可靠性設(shè)計(jì)理念運(yùn)用到真空泵的設(shè)計(jì)中，在可靠性設(shè)計(jì)、可靠性實(shí)驗(yàn)等方面下工夫，以大幅度提高真空泵的可靠性、穩(wěn)定性和壽命，保證真空泵能夠在各種工 況下長期可靠的運(yùn)行。同時(shí)通過采用新技術(shù)、新材料、新工藝、新結(jié)構(gòu)來降低振動(dòng)、噪聲，解決泵的噴油、漏油問題，還用戶一個(gè)清潔環(huán)保的工作環(huán)境。

　 　(2)真空泵向個(gè)性化、多樣化發(fā)展。企業(yè)面對(duì)的永遠(yuǎn)是變化的市場，而我們的真空泵產(chǎn)品卻千篇一律的雷同。產(chǎn)品和市場的不銜接，使我們丟掉了許多機(jī)會(huì)。真 空泵的下一步發(fā)展應(yīng)該面向個(gè)性化和多樣化。所謂個(gè)性化和多樣化就是針對(duì)不同用戶的不同需求，設(shè)計(jì)針對(duì)某一用戶的特定場合的產(chǎn)品，使產(chǎn)品在這一場合應(yīng)用，其 特性的發(fā)揮恰倒好處。

　　(3)盡快形成分子泵和干泵的規(guī)模生產(chǎn)。真空泵根據(jù)預(yù)測，到2016年我國將成為世界上第二大半導(dǎo)體集成電路市 場，總需求量約1000億塊，達(dá)到1000億美元以上的總金額，需要建30多條大生產(chǎn)線才能滿足需求。30條生產(chǎn)線所需干式真空泵大約15000臺(tái)，是目 前我國真空泵年產(chǎn)量的1／10左右。

　　(4)國內(nèi)目前真空獲得設(shè)備仍然以傳統(tǒng)的真空泵為主，主要為旋片真空泵、滑閥真空泵、羅茨真空 泵、蒸汽流泵、水環(huán)真空泵等，且全部用于傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)，我國生產(chǎn)的真空泵用于電子信息產(chǎn)業(yè)不足1％，與日本、歐美等國相比差距巨大。我國干式真空泵的生產(chǎn)處于 剛剛起步階段，在全國200多家生產(chǎn)真空泵的企業(yè)中，能夠生產(chǎn)干式真空泵的企業(yè)不足10家，年產(chǎn)量不足1000臺(tái)。沒有形成批量生產(chǎn)。

　　(5)國內(nèi)生產(chǎn)的干泵絕大多數(shù)用于實(shí)驗(yàn)室及化學(xué)、醫(yī)藥等領(lǐng)域，用于半導(dǎo)體行業(yè)的很少。國內(nèi)飛速發(fā)展的電子信息產(chǎn)業(yè)沒有有效的刺激國內(nèi)干式真空泵發(fā)展，而卻成為國際上真空工業(yè)發(fā)達(dá)國家的擴(kuò)張之地。

　 　(6)國內(nèi)建成的半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)線，幾乎所有的干式真空泵(包括其它真空設(shè)備)均為進(jìn)口，主要來自英國、日本、德國、美國等。國內(nèi)生產(chǎn)的干式真空泵 進(jìn)入該領(lǐng)域十分艱難，使得干式真空泵這個(gè)未來真空獲得設(shè)備的主導(dǎo)產(chǎn)品在我國處于十分困難的境地。造成此狀況的主要原因?yàn)楦墒秸婵毡迷谖覈钠鸩捷^晚，剛一 起步即面臨國外已經(jīng)發(fā)展成熟的產(chǎn)品大量進(jìn)入我國市場，國內(nèi)產(chǎn)品除了價(jià)格低外，在加工制造、技術(shù)水平、質(zhì)量狀況等各方面不含有優(yōu)勢，國外各國的產(chǎn)品經(jīng)過幾年 的較量，已經(jīng)基本瓜分了國內(nèi)市場，并且站穩(wěn)了腳，國內(nèi)的干式真空泵生產(chǎn)由于失去了市場的激勵(lì)，沒有了發(fā)展的動(dòng)力，進(jìn)步緩慢。業(yè)內(nèi)專家一致認(rèn)為干式真空泵是 真空獲得設(shè)備發(fā)展的方向，也是真空獲得手段的“尖端”技術(shù)，我國的真空泵產(chǎn)業(yè)必須在此領(lǐng)域有所作為，首先進(jìn)入食品、化工、醫(yī)藥等行業(yè)。經(jīng)過這些市場的培育 和鍛煉，進(jìn)而打入半導(dǎo)體行業(yè)。才能使整個(gè)行業(yè)與時(shí)俱進(jìn)的發(fā)展。目前國內(nèi)分子泵應(yīng)健全系列并開發(fā)多品種，如低溫分子泵、復(fù)合分子泵等，逐漸擴(kuò)展市場。

　 　(7)抓緊產(chǎn)品結(jié)構(gòu)調(diào)整，全力開發(fā)適應(yīng)市場需求的產(chǎn)品傳統(tǒng)的真空設(shè)備我們生產(chǎn)了幾十年，在全國范圍內(nèi)形成了產(chǎn)品分布的穩(wěn)定格局。但是隨著經(jīng)濟(jì)的高速發(fā) 展，信息技術(shù)、航空航天、納米科學(xué)等高科技弓I導(dǎo)了當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的潮流。而這些高新技術(shù)的發(fā)展離不開真空獲得設(shè)備這個(gè)基礎(chǔ)裝備目前國內(nèi)的狀況是真空泵 生產(chǎn)企業(yè)仍然以生產(chǎn)傳統(tǒng)產(chǎn)品為主，在傳統(tǒng)應(yīng)用領(lǐng)域占領(lǐng)90％以上的市場份額。在高科技領(lǐng)域，國內(nèi)產(chǎn)品在技術(shù)水平和質(zhì)量上不能滿足要求，90％以上市場份額 由國外產(chǎn)品占領(lǐng)。國內(nèi)真空獲得產(chǎn)品與高新技術(shù)的發(fā)展嚴(yán)重脫節(jié)，產(chǎn)品結(jié)構(gòu)不盡合理。多數(shù)企業(yè)期望靠已有的老產(chǎn)品，不斷增加產(chǎn)量而逐年增加利潤，這種可能性在 市場競爭日益激烈的今天會(huì)越來越小。在今天的國內(nèi)外市場格局面前，盡快調(diào)整產(chǎn)品結(jié)構(gòu)，使其適應(yīng)市場需求才是最明智的選擇。產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整一是要不斷推出市 場需要的對(duì)路產(chǎn)品，對(duì)真空泵市場來說，就是要加快各種干式泵、分子泵以及其他高端產(chǎn)品的研制生產(chǎn)，盡快形成批量。二是全行業(yè)要形成高、中、低端產(chǎn)品的合理 布局，并隨著市場的變化，不斷調(diào)整，始終保持比較合理的產(chǎn)品結(jié)構(gòu)狀態(tài)。盡管新的一年里真空行業(yè)取得了令人矚目的，但目前的真空泵技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r卻并不樂觀。 全行業(yè)要認(rèn)真分析形勢，總結(jié)經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)，團(tuán)結(jié)一致，為行業(yè)的發(fā)展和技術(shù)進(jìn)步開出一條。